基于多层结构的声表面波高频器件分析设计

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刊名：金刚石与磨料磨具工程
曾用名：磨料磨具与磨削
主办：郑州磨料磨具磨削研究所
ISSN：1006-852X
CN：41-1243/TG
语言：中文
周期：双月
被引频次：20897
期刊分类：冶金能源

来源：金刚石与磨料磨具工程 【在线投稿】栏目：期刊导读时间：2021-07-27

通过有限元仿真，分析基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波传播特性，包括机电耦合系数、声表面波波速以及温度敏感系数等，同时分析电极厚度对机电耦合系数的影响机理，为适用于不同场合的高频器件的优化设计提供思路，对基于ZnO/Diamond不同复合结构的声表面波器件的设计具有指导意义。